Lam Research ra mắt máy lắng đọng xung laser được sản xuất hàng loạt đầu tiên trên thế giới

Lam Research mới đây đã ra mắt máy lắng đọng xung laser (PLD) đầu tiên trên thế giới để sản xuất hàng loạt, nhằm cải thiện hiệu suất của micrô và bộ lọc tần số vô tuyến (RF) thế hệ tiếp theo dựa trên công nghệ MEMS. Hệ thống có tên Pulsus™ PLD, cung cấp màng nhôm nitride (AlScN) được pha tạp scandium với hàm lượng scandium cao hơn, mở đường cho các thiết bị hiệu suất cao trong các ứng dụng tiêu dùng và ô tô. Hiện tại, Pulsus™ đã bắt đầu được chuyển đến một số nhà sản xuất thiết bị MEMS chuyên dụng.