Lam Research เปิดตัวเครื่องสะสมตัวด้วยเลเซอร์แบบพัลส์ที่ผลิตจำนวนมากเครื่องแรกของโลก

เมื่อเร็วๆ นี้ Lam Research ได้เปิดตัวเครื่องแรกของโลกสำหรับการผลิตจำนวนมากโดยมีเป้าหมายเพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพของไมโครโฟนและตัวกรองความถี่วิทยุ (RF) ยุคถัดไปที่ใช้เทคโนโลยี MEMS ระบบนี้เรียกว่า Pulsus™ PLD ซึ่งส่งฟิล์มอะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlScN) ที่เจือด้วยสแกนเดียมที่มีปริมาณสแกนเดียมสูงกว่า ปูทางไปสู่อุปกรณ์ประสิทธิภาพสูงในการใช้งานสำหรับผู้บริโภคและยานยนต์ ปัจจุบัน Pulsus™ ได้เริ่มจัดส่งไปยังผู้ผลิตอุปกรณ์ MEMS แบบพิเศษบางรายแล้ว