Lam Research melancarkan mesin pemendapan laser berdenyut keluaran besar-besaran pertama di dunia

Lam Research baru-baru ini melancarkan mesin pemendapan laser berdenyut (PLD) pertama di dunia untuk pengeluaran besar-besaran, bertujuan untuk meningkatkan prestasi mikrofon generasi akan datang dan penapis frekuensi radio (RF) berdasarkan teknologi MEMS. Sistem yang dipanggil Pulsus™ PLD, menyampaikan filem aluminium nitrida (AlScN) yang didopkan skandium dengan kandungan skandium yang lebih tinggi, membuka jalan untuk peranti berprestasi tinggi dalam aplikasi pengguna dan automotif. Pada masa ini, Pulsus™ telah mula menghantar kepada beberapa pengeluar peranti MEMS khusus.