Lam Research meluncurkan mesin pengendapan laser berdenyut yang diproduksi secara massal pertama di dunia

Lam Research baru-baru ini meluncurkan mesin deposisi laser berdenyut (PLD) pertama di dunia untuk produksi massal, yang bertujuan untuk meningkatkan kinerja mikrofon generasi berikutnya dan filter frekuensi radio (RF) berdasarkan teknologi MEMS. Sistem ini, yang disebut Pulsus™ PLD, menghasilkan film aluminium nitrida (AlScN) yang didoping skandium dengan kandungan skandium yang lebih tinggi, membuka jalan bagi perangkat berkinerja tinggi dalam aplikasi konsumen dan otomotif. Saat ini, Pulsus™ telah mulai dikirimkan ke beberapa produsen perangkat khusus MEMS.