أطلقت شركة Lam Research أول آلة ترسيب ليزر نبضي يتم إنتاجها بكميات كبيرة في العالم

أطلقت شركة Lam Research مؤخرًا أول آلة ترسيب ليزر نبضي (PLD) في العالم للإنتاج الضخم، بهدف تحسين أداء ميكروفونات الجيل التالي ومرشحات الترددات الراديوية (RF) القائمة على تقنية MEMS. يقدم النظام، المسمى Pulsus™ PLD، أفلام نيتريد الألومنيوم المطلية بالسكانديوم (AlScN) ذات محتوى سكانديوم أعلى، مما يمهد الطريق للأجهزة عالية الأداء في تطبيقات المستهلك والسيارات. حاليًا، بدأت شركة Pulsus™ في الشحن إلى بعض الشركات المصنعة لأجهزة MEMS المتخصصة.