Lam Research اولین دستگاه رسوب لیزر پالسی تولید انبوه را راه اندازی کرد

Lam Research به تازگی اولین دستگاه رسوب لیزر پالسی (PLD) را برای تولید انبوه با هدف بهبود عملکرد میکروفون های نسل بعدی و فیلترهای فرکانس رادیویی (RF) مبتنی بر فناوری MEMS راه اندازی کرده است. این سیستم که Pulsus™ PLD نام دارد، فیلم‌های نیترید آلومینیوم (AlScN) دوپ شده با اسکاندیم را با محتوای اسکاندیم بالاتر ارائه می‌کند و راه را برای دستگاه‌های با کارایی بالا در کاربردهای مصرف‌کننده و خودرو هموار می‌کند. در حال حاضر، Pulsus™ حمل و نقل را به برخی از سازندگان دستگاه های MEMS تخصصی آغاز کرده است.