北方華創推出8吋碳化矽外延產品

北方華創在碳化矽外延設備領域推出了8吋產品。該公司在8吋基板基礎上，已實現8吋單晶片碳化矽外延生長設備的自主研發與調試，外延的厚度均勻性1.5%以內、摻雜均勻性4%以內，已達到業界領先水平。