北華荘、8インチ炭化ケイ素エピタキシャル製品を発売

北華荘は炭化ケイ素エピタキシー装置の分野で8インチ製品を発売しました。同社は、8インチ基板に基づいて、8インチモノリシック炭化ケイ素エピタキシャル成長装置の独立した研究開発とデバッグを達成しました。エピタキシーの厚さの均一性は1.5％以内、ドーピングの均一性は4％以内です。業界をリードするレベルに達しました。