浙江大學杭州國際科創中心成功成長出100 mm厚的6吋碳化矽單晶

2024-12-24 19:18
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浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院-乾晶半导体联合实验室采用提拉式物理气相传输(PPVT)法,成功生长出厚度突破100 mm的6英寸碳化硅单晶。这一成果将有助于降低碳化硅衬底的成本。