절강대학교 항저우 국제과학기술혁신센터, 두께 100mm 6인치 탄화규소 단결정 성장 성공

2024-12-24 19:18
 0
절강대학교 항저우 국제과학기술혁신센터 첨단반도체연구소-건식결정반도체공동연구소는 풀형 물리기상수송(PPVT) 방식을 사용해 두께 100mm가 넘는 6인치 탄화규소 단결정 성장에 성공했다. 이 성과는 탄화규소 기판의 비용을 줄이는 데 도움이 될 것입니다.