浙江大学杭州国際科学技術イノベーションセンターが厚さ100mmの6インチ炭化ケイ素単結晶の育成に成功

浙江大学杭州国際科学技術イノベーションセンター先端半導体研究所・乾結晶半導体共同研究室は、プル型物理気相輸送（PPVT）法を用いて、厚さ100mmを超える6インチの炭化ケイ素単結晶の成長に成功した。この成果は炭化珪素基板のコスト削減に貢献します。