Axcelis獲日本功率元件製造商訂單，交付Purion EXE™ SiC高能量離子注入機

賓士EQE SUV 和 能 這 碳化矽 H200 這 和 元 閉環 晶片 元 製造 交付 離子注入機 功率 日本 碳化矽 碳化矽 這些 這 生產 的
2024-12-24 19:27
 85
Axcelis宣布向日本領先的功率元件晶片製造商交付Purion EXE™ SiC高能量離子注入機，並完成Purion H200™ SiC離子注入機的評估閉環，這些設備將用於150mm和200mm碳化矽功率元件的生產。


News
Exclusive
Data
Account