Axcelis vinner order från japansk tillverkare av kraftenheter för att leverera Purion EXE™ SiC högenergijonimplantatör

Axcelis tillkännagav leveransen av Purion EXE™ SiC högenergijonimplantatören till Japans ledande tillverkare av kraftenheter och slutförandet av utvärderingen av den slutna kretsen av Purion H200™ SiC-jonimplantatören. Denna utrustning kommer att användas för produktion av 150 mm och 200 mm kraftenheter av kiselkarbid.