Axcelis vinnur pöntun frá japanska raftækjaframleiðandanum til að afhenda Purion EXE™ SiC háorkujónaígræðslutæki

Axcelis tilkynnti um afhendingu Purion EXE™ SiC háorkujónaígræðslutækisins til leiðandi raftækjaframleiðanda Japans og loknu mati á lokuðu lykkju Purion H200™ SiC jónaígræðslutækisins. Þessi búnaður verður notaður til framleiðslu á 150 mm og 200mm kísilkarbíð afltæki.