Axcelis vinner ordre fra japansk kraftenhetsprodusent for å levere Purion EXE™ SiC høyenergi-ionimplantator

Axcelis annonserte leveringen av Purion EXE™ SiC høyenergi-ion-implantatet til Japans ledende kraftenhetsbrikkeprodusent og fullføringen av evalueringen av den lukkede sløyfen av Purion H200™ SiC-ionimplantatoren. Dette utstyret vil bli brukt til produksjon av 150 mm og 200 mm silisiumkarbid kraftenheter.