Axcelis выиграла заказ от японского производителя силовых устройств на поставку высокоэнергетического ионного имплантатора Purion EXE™ SiC

Компания Axcelis объявила о поставке высокоэнергетического ионного имплантатора Purion EXE™ SiC ведущему японскому производителю чипов для силовых устройств и завершении оценочного замкнутого цикла ионного имплантатора SiC Purion H200™. Это оборудование будет использоваться для производства 150-мм и 150-миллиметровых чипов. Силовые устройства из карбида кремния диаметром 200 мм.