Axcelis печели поръчка от японския производител на захранващи устройства за доставка на високоенергиен йонен имплантатор Purion EXE™ SiC

Axcelis обяви доставката на високоенергийния имплантатор Purion EXE™ SiC на водещия японски производител на чипове за захранващи устройства и завършването на затворения цикъл за оценка на йонния имплантатор Purion H200™. Това оборудване ще се използва за производството на 150 mm и 200 мм захранващи устройства от силициев карбид.