Axcelis zdobywa zamówienie od japońskiego producenta urządzeń zasilających na dostawę wysokoenergetycznego implantatora jonowego Purion EXE™ SiC

Firma Axcelis ogłosiła dostawę wysokoenergetycznego implantatora jonów Purion EXE™ SiC do wiodącego japońskiego producenta chipów do urządzeń zasilających oraz zakończenie oceny zamkniętej pętli implantatora jonów Purion H200™ SiC. Sprzęt ten będzie używany do produkcji 150 mm i Urządzenia zasilające z węglika krzemu 200 mm.