Az Axcelis megrendelést nyert a japán erőmű-gyártótól Purion EXE™ SiC nagyenergiájú ionimplanter szállítására

Az Axcelis bejelentette a Purion EXE™ SiC nagyenergiájú ionimplantátor szállítását Japán vezető áramellátó chip-gyártójához, valamint a Purion H200™ SiC ionimplanter zárt körének értékelését. Ezeket a berendezéseket 150 mm-es és 200 mm-es szilícium-karbid erőgépek.