Кампанія Axcelis атрымала заказ ад японскага вытворцы электрапрыбораў на пастаўку высокаэнергетычнага іённага імплантатара Purion EXE™ SiC

Кампанія Axcelis абвясціла аб пастаўцы высокаэнергетычнага іённага імплантатара Purion EXE™ для вядучага японскага вытворцы чыпаў энергетычных прылад і аб завяршэнні ацэнкі іённага імплантатара Purion H200™ SiC. Гэта абсталяванне будзе выкарыстоўвацца для вытворчасці 150 мм і Прылады харчавання з карбіду крэмнія 200 мм.