Axcelis dobiva narudžbu japanskog proizvođača energetskih uređaja za isporuku visokoenergetskog ionskog implantatora Purion EXE™ SiC

Axcelis je najavio isporuku Purion EXE™ SiC ionskog implantatora vodećem japanskom proizvođaču čipova za električne uređaje i završetak evaluacije zatvorenog kruga Purion H200™ SiC ionskog implantatora. Ova će se oprema koristiti za proizvodnju 150 mm i 200 mm uređaji za napajanje od silicij karbida.