Axcelis võitis tellimuse Jaapani toiteseadmete tootjalt Purion EXE™ SiC suure energiaga iooniimplanteri tarnimiseks

Axcelis teatas suure energiatarbega ioonimplanteri Purion EXE™ tarnimisest Jaapani juhtivale toiteseadmete kiibi tootjale ning Purion H200™ SiC iooniimplanteri suletud ahela hindamise lõpuleviimisest 200 mm ränikarbiidi jõuseadmed.