Axcelis သည် Purion EXE™ SiC စွမ်းအင်မြင့် အိုင်းယွန်း implanter ကို ပေးအပ်ရန် ဂျပန် ပါဝါစက်ပစ္စည်း ထုတ်လုပ်သူထံမှ အမှာစာ ရရှိသည် ။

85
Axcelis သည် Purion EXE™ SiC high-energy ion implanter ကို ဂျပန်နိုင်ငံ၏ ထိပ်တန်း ပါဝါစက်ပစ္စည်း ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်သူထံ ပေးအပ်ပြီး Purion H200™ SiC ion implanter ၏ အကဲဖြတ်မှု ပြီးစီးမှုအား ကြေငြာခဲ့ပြီး အဆိုပါပစ္စည်းများကို 150mm နှင့် ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် အသုံးပြုမည်ဖြစ်သည်။ 200mm ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပါဝါ ကိရိယာများ။