Axcelis fiton porosinë nga prodhuesi japonez i pajisjeve të energjisë për të ofruar implantues jonesh me energji të lartë Purion EXE™ SiC

Axcelis njoftoi dorëzimin e implantuesit të joneve me energji të lartë Purion EXE™ tek prodhuesi kryesor japonez i çipeve të pajisjeve të energjisë dhe përfundimin e ciklit të mbyllur të vlerësimit të implantuesit të joneve Purion H200™ SiC Këto pajisje do të përdoren për prodhimin e 150 mm dhe Pajisjet e fuqisë së karbitit të silikonit 200 mm.