فازت شركة Axcelis بطلب من الشركة المصنعة لأجهزة الطاقة اليابانية لتسليم جهاز زرع الأيونات عالي الطاقة Purion EXE™ SiC

85
أعلنت شركة Axcelis عن تسليم جهاز زرع الأيونات Purion EXE™ SiC عالي الطاقة إلى الشركة الرائدة في مجال تصنيع شرائح أجهزة الطاقة في اليابان وإكمال حلقة التقييم المغلقة لجهاز زرع الأيونات Purion H200™ SiC سيتم استخدام هذه المعدات لإنتاج 150 مم و أجهزة طاقة كربيد السيليكون 200 مم.