Axcelis برنده سفارش سازنده دستگاه برق ژاپنی برای ارائه ایمپلنت یون پرانرژی Purion EXE™ SiC

85
Axcelis از تحویل ایمپلنت یون پرانرژی Purion EXE™ به سازنده تراشه های قدرت برتر ژاپن و تکمیل حلقه بسته یونی Purion H200™ این تجهیزات برای تولید 150 میلی متر استفاده می شود دستگاه های قدرت کاربید سیلیکون 200 میلی متری.