Axcelis, Purion EXE™ SiC yüksək enerjili ion implantatorunu çatdırmaq üçün Yapon güc cihazı istehsalçısından sifariş qazandı

Axcelis, Purion EXE™ SiC yüksək enerjili ion implantatorunun Yaponiyanın aparıcı güc qurğusu çip istehsalçısına çatdırıldığını və Purion H200™ SiC ion implantatorunun qiymətləndirmə qapalı dövrəsinin tamamlandığını elan etdi. Bu avadanlıq 150 mm və 200 mm silisium karbid güc cihazları.