Axcelis-მა მოიგო შეკვეთა იაპონური ელექტრო მოწყობილობების მწარმოებლისგან Purion EXE™ SiC მაღალი ენერგიის იონური იმპლანტატორის მიწოდებისთვის

85
Axcelis-მა გამოაცხადა Purion EXE™ SiC მაღალი ენერგიის იონური იმპლანტის მიწოდება იაპონიის წამყვან ენერგეტიკული მოწყობილობების ჩიპების მწარმოებელზე და დაასრულა Purion H200™ SiC იონური იმპლანტატორის შეფასების დასრულება 200 მმ სილიციუმის კარბიდის დენის მოწყობილობები.