Axcelis는 세계 최고의 탄화규소 전력 장치 제조업체에 여러 배치의 이온 주입기를 제공합니다.

4월 17일, 반도체 이온 주입 장비 공급업체인 Axcelis는 탄화규소(SiC) 전력 장치 분야의 세계 선두 제조업체에 Purion Power 시스템 이온 주입기의 여러 배치를 납품한다고 발표했습니다. 이러한 장치에는 Purion H200 SiC 고전류, Purion XE SiC 고에너지 및 Purion M SiC 중전류 인젝터가 포함되어 있으며 1분기에 출시되었습니다. 이러한 6인치(150mm) 및 8인치(200mm) 장치는 자동차, 산업, 에너지 및 기타 전력 집약적 애플리케이션을 위한 전력 장치의 대량 생산을 지원하는 데 사용됩니다.