Axcelis は、世界有数の炭化ケイ素パワーデバイスメーカーに複数バッチのイオン注入装置を納入

4月17日、半導体イオン注入装置のサプライヤーであるAxcelisは、炭化ケイ素（SiC）パワーデバイスの世界大手メーカーにPurion Powerシステムイオン注入装置の複数バッチを納入したと発表した。これらのデバイスには、Purion H200 SiC 高電流インジェクター、Purion XE SiC 高エネルギー インジェクター、および Purion M SiC 中電流インジェクターが含まれており、第 1 四半期に出荷されました。これらの 6 インチ (150mm) および 8 インチ (200mm) デバイスは、自動車、産業、エネルギー、その他の電力集約型アプリケーション向けのパワー デバイスの大量生産をサポートするために使用されます。