Répartition de la valeur de la chaîne industrielle du carbure de silicium et importance de l'épitaxie

Dans la chaîne industrielle du carbure de silicium, le substrat et l'épitaxie sont des maillons en amont, représentant respectivement 47 % et 23 % de la structure des coûts des dispositifs électriques en carbure de silicium. Les obstacles à la production de plaquettes épitaxiales en carbure de silicium de haute qualité sont élevés et la demande mondiale en aval de dispositifs en carbure de silicium est forte, ce qui entraîne une offre restreinte de plaquettes épitaxiales en carbure de silicium de haute qualité. La couche épitaxiale permet d'éliminer certains défauts du substrat et d'aligner le réseau cristallin, ce qui a un impact décisif sur les performances du dispositif.