Размеркаванне значэння карбіду крэмнію прамысловасці ланцуга і важнасць эпітаксіі

39
У ланцужку прамысловасці карбіду крэмнію падкладка і эпітаксія з'яўляюцца вышэйшымі звёнамі, на іх долю прыпадае 47% і 23% структуры выдаткаў сілкавальных прылад з карбіду крэмнія адпаведна. Вытворчыя бар'еры для высакаякасных эпітаксіяльных пласцін з карбіду крэмнію высокія, а глабальны попыт на прылады з карбіду крэмнію высокі, што прыводзіць да недахопу паставак высакаякасных эпітаксіяльных пласцін з карбіду крэмнію. Эпитаксиальный пласт дазваляе ліквідаваць пэўныя дэфекты падкладкі і выраўнаваць крышталічную рашотку, што вырашальна ўплывае на прадукцыйнасць прылады.