國內碳化矽元件及基板發展狀況

國內碳化矽MOS晶圓廠包括山東比亞迪、南京55所、紹興中芯、上海積塔、義烏瞻芯、廈門士蘭微、深圳基本半導體、深圳華為、廣州新粵能等。這些公司目前僅生產裝置，襯底仍依賴進口。