TSMCとサムスンはASML高開口数EUVツールの使用に関心

TSMCとサムスンはいずれも、ASML高開口数EUVツールを使用する意向を表明しているが、具体的な使用時期についてはまだ発表していない。 ASMLはこれまでにメモリ専門企業のSK HynixやMicronからのパイロット装置を含む10～20件の注文を受けている。