TSMC болон Samsung нь ASML өндөр тоон диафрагмын EUV хэрэгслийг ашиглах сонирхолтой байна

72
TSMC болон Samsung хоёулаа ASML өндөр тоон диафрагмын EUV хэрэгслийг ашиглах хүсэлтэй байгаагаа илэрхийлсэн боловч ашиглалтын тодорхой цагийг хараахан зарлаагүй байна. ASML одоогоор SK Hynix, Micron нарын санах ойн мэргэжилтнүүдээс туршилтын тоног төхөөрөмж зэрэг 10-20 захиалга авчээ.