TSMC und Samsung sind an der Verwendung von ASML-EUV-Tools mit hoher numerischer Apertur interessiert

Sowohl TSMC als auch Samsung haben ihre Absicht zum Ausdruck gebracht, ASML-EUV-Tools mit hoher numerischer Apertur zu verwenden, haben jedoch noch keinen genauen Zeitpunkt der Verwendung bekannt gegeben. ASML hat bislang 10 bis 20 Aufträge erhalten, unter anderem für Pilotgeräte von den Speicherspezialisten SK Hynix und Micron.