TSMC og Samsung hafa áhuga á að nota ASML EUV verkfæri með háum tölulega ljósopi

Bæði TSMC og Samsung hafa lýst yfir áformum sínum um að nota ASML EUV verkfæri með háum tölulegum ljósopi, en hafa ekki enn tilkynnt um sérstakan notkunartíma. ASML hefur hingað til fengið 10 til 20 pantanir, þar á meðal fyrir tilraunabúnað frá minnissérfræðingunum SK Hynix og Micron.