TSMC och Samsung intresserade av att använda ASML EUV-verktyg med hög numerisk öppning

72
Både TSMC och Samsung har uttryckt sin avsikt att använda ASML EUV-verktyg med hög numerisk öppning, men har ännu inte meddelat den specifika tiden för användning. ASML har hittills fått 10 till 20 beställningar, bland annat på pilotutrustning från minnesspecialisterna SK Hynix och Micron.