TSMC и Samsung заинтересованы в использовании инструментов EUV ASML с высокой числовой апертурой

72
И TSMC, и Samsung выразили намерение использовать инструменты EUV ASML с высокой числовой апертурой, но еще не объявили конкретные сроки использования. На данный момент ASML получила от 10 до 20 заказов, в том числе на пилотное оборудование от специалистов по памяти SK Hynix и Micron.