TSMC a Samsung mají zájem o použití nástrojů EUV s vysokou numerickou aperturou ASML

72
TSMC i Samsung vyjádřily svůj záměr používat nástroje EUV s vysokou numerickou aperturou ASML, ale konkrétní dobu použití zatím neoznámily. Společnost ASML dosud obdržela 10 až 20 objednávek, včetně objednávek pilotního vybavení od specialistů na paměti SK Hynix a Micron.