TSMC a Samsung majú záujem o používanie nástrojov EUV s vysokou numerickou apertúrou ASML

TSMC aj Samsung vyjadrili svoj zámer použiť nástroje ASML s vysokou numerickou apertúrou EUV, ale zatiaľ neoznámili konkrétny čas použitia. ASML doteraz prijalo 10 až 20 objednávok, vrátane pilotného vybavenia od špecialistov na pamäte SK Hynix a Micron.