TSMC và Samsung quan tâm đến việc sử dụng các công cụ EUV khẩu độ số cao ASML

Cả TSMC và Samsung đều bày tỏ ý định sử dụng công cụ EUV khẩu độ cao ASML nhưng vẫn chưa công bố thời gian sử dụng cụ thể. ASML cho đến nay đã nhận được 10 đến 20 đơn đặt hàng, bao gồm cả thiết bị thí điểm từ các chuyên gia bộ nhớ SK Hynix và Micron.