TSMC และ Samsung สนใจใช้เครื่องมือ EUV รูรับแสงตัวเลขสูง ASML

ทั้ง TSMC และ Samsung ได้แสดงความตั้งใจที่จะใช้เครื่องมือ EUV ที่มีรูรับแสงตัวเลขสูง ASML แต่ยังไม่ได้ประกาศเวลาการใช้งานที่แน่นอน จนถึงขณะนี้ ASML ได้รับคำสั่งซื้อ 10 ถึง 20 รายการ รวมถึงอุปกรณ์นำร่องจากผู้เชี่ยวชาญด้านหน่วยความจำ SK Hynix และ Micron