Meiai Technology が上海マイクロエレクトロニクスに主要製品を供給

メイアイテクノロジーは、国内初の28ナノメートル露光装置を開発する上海マイクロエレクトロニクス社が要求する、国際クリーン度最高水準（ISOクラス1）のクリーン環境を実現するEFU（ファン内蔵超薄型装置）を提供.フィルターユニット）やULPA（超高効率フィルター）などの製品は、国内のリソグラフィー装置業界の行き詰まった技術的問題の打開に貢献します。