路芯半導體投資建置高精度積體電路用光掩膜版生產線

為滿足我國半導體產業自主可控的需求，路芯半導體在園區投資建置了高精度積體電路用光掩膜版生產線。本計畫分為兩期建設，第一期規劃投資約14.39億元，用於生產45nm及以上的節點掩膜版；二期規劃投資約5.61億元，用於生產28nm及以上的節點掩膜版。