ASML's Twinscan NXE:3800E kerfisbreytingar

Samkvæmt 2021 útgáfunni af vegakortinu sem ASML gaf út, mun Twinscan NXE:3800E kerfið hafa umtalsverða endurbætur í samræmingarnákvæmni og framleiðslugetu samanborið við fyrri kynslóð 3600D, með afköst allt að 195 diska á klukkustund, sem er hærra en 160 diskarnir af 3600D Tæplega 22% og er búist við að þeir nái markmiðinu um 220 stykki.