ASML:s Twinscan NXE:3800E systemprestandaförbättringar

2024-12-25 12:22
 80
Enligt 2021-versionen av färdplanen släppt av ASML kommer Twinscan NXE:3800E-systemet att ha betydande förbättringar i uppriktningsnoggrannhet och produktionskapacitet jämfört med föregående generation 3600D, med en genomströmning på upp till 195 wafers per timme, vilket är högre än de 160 wafers av 3600D Nästan 22%, och förväntas nå målet på 220 bitar.