Mejoras en el rendimiento del sistema Twinscan NXE:3800E de ASML

Según la versión 2021 de la hoja de ruta publicada por ASML, el sistema Twinscan NXE:3800E tendrá mejoras significativas en la precisión de alineación y la capacidad de producción en comparación con la generación anterior 3600D, con un rendimiento de hasta 195 obleas por hora, que es superior a las 160 obleas del 3600D casi el 22%, y se espera alcanzar el objetivo de 220 piezas.