Miglioramenti delle prestazioni del sistema Twinscan NXE:3800E di ASML

Secondo la versione 2021 della tabella di marcia rilasciata da ASML, il sistema Twinscan NXE:3800E presenterà miglioramenti significativi nella precisione di allineamento e nella capacità di produzione rispetto alla generazione precedente 3600D, con una produttività fino a 195 wafer all'ora, che è superiore a i 160 wafer del 3600D quasi il 22%, e si prevede di raggiungere l'obiettivo di 220 pezzi.