Βελτιώσεις στην απόδοση του συστήματος Twinscan NXE:3800E της ASML

80
Σύμφωνα με την έκδοση του 2021 του οδικού χάρτη που κυκλοφόρησε από την ASML, το σύστημα Twinscan NXE:3800E θα έχει σημαντικές βελτιώσεις στην ακρίβεια ευθυγράμμισης και στην παραγωγική ικανότητα σε σύγκριση με την προηγούμενη γενιά 3600D. Η απόδοση μπορεί να φτάσει τα 195 wafers ανά ώρα 160 γκοφρέτες της 3600D Σχεδόν 22% και αναμένεται να φτάσει τον στόχο των 220 τεμαχίων.